洁净室是半导体行业制造环节的重要一环,它对通风系统的要求较高,包括高空气交换率、压力充足、精确的温度和湿度调控以及始终如一的空气质量。依必安派特(ebmpapst)可为洁净室乃至整个洁净厂房提供一站式的通风系统解决方案。

FFU/EFU应用——洁净厂房过滤系统的可靠保障

风机在洁净室中至关重要,依必安派特(ebmpapst)为风机过滤单元(FFU)量身打造了ebm风机——RadiCal EC离心风机,它的叶轮由玻璃纤维加强塑料一体成型,这使叶轮的形状可以更好地进行空气动力学优化,在有效降低噪音的同时,显著降低了功耗。同时,它还兼具集群控制功能。针对结构更为紧凑的EFU,ebm风机可提供纤薄款RadiCal,厚度仅为97.5mm。

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空气处理机组(AHU)应用——RadiPac离心风机

在商用通风领域,即插即用型ebm风机——RadiPac离心风机设计紧凑,总体效率高达60%以上,通过MODBUS可实现远程监控,实现基于需求的高效运行,这些优势使其成为空气处理机组(AHU)的理想之选。

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组合式新风机组(MAU)应用——风墙技术

组合式新风机组(MAU)是一种有效的空气净化设备,负责将处理后的新风送入洁净室的回风夹道内。ebm风机——RadiPac并联形成的风墙方案,可为MAU提供高效节能的通风方案。模块化的设计使其更加方便拆装,此外,冗余功能可确保设备无故障安全运行。

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